[发明专利]一种轴承钢的超低温离子注入强化系统及方法在审
| 申请号： | 201710317051.0 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107164737A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 金杰;邵天敏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C21D6/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 关畅,王春霞 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种轴承钢的超低温离子注入强化系统及方法。超低温离子注入强化系统包括一真空腔室、冷却工装系统、测温系统和智能控制系统；真空腔室与抽真空系统相连通；真空腔室的顶部设有金属离子源和气体离子源；冷却工装系统包括液氮冷却系统和电制冷系统，液氮冷却系统包括设于真空腔室外的液氮冷却箱，电制冷系统包括设于真空腔室内的半导体电控冷却器；半导体电控冷却器设于冷却终端内，液氮冷却箱通过循环泵和管道循环，管道延伸至所述真空腔室内且与半导体电控冷却器相接触。本发明超低温离子注入强化系统可以完成大量工艺数据存储并自动执行复杂工艺，实现了系统智能化自动控制，具备故障自诊、故障报警、在线监控等功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴承钢 超低温 离子 注入 强化 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种超低温离子注入强化系统，其特征在于：它包括一真空腔室、冷却工装系统、测温系统和智能控制系统；所述真空腔室与抽真空系统相连通；所述真空腔室的顶部设有金属离子源和气体离子源；所述冷却工装系统包括液氮冷却系统和电制冷系统，所述液氮冷却系统包括设于所述真空腔室外的液氮冷却箱，所述电制冷系统包括设于所述真空腔室内的半导体电控冷却器；所述半导体电控冷却器设于冷却终端内，所述液氮冷却箱通过循环泵和管道循环，所述管道延伸至所述真空腔室内且与所述半导体电控冷却器相接触；所述冷却终端上设有测温传感器；所述测温系统设于所述真空腔室内；所述智能控制系统控制所述冷却工装系统和所述测温系统。
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