[发明专利]纳米涂层设备的电磁过滤装置

摘要

本发明涉及一种纳米涂层设备的电磁过滤装置，真空电弧的阴极与阳极之间产生电弧，在垂直于电弧阴极表面的附近产生等离子,在磁场的作用下，等离子体中的宏观粒子、中性原子和离子团被偏移到过滤屏幕上，而纯净的等离子体被偏移到更高磁场分量的位置，最终到达放置基体的转台，并沉积在基体上。本发明可以减少离子体中宏观粒子、离子团和中性原子在工件表面的沉积,同时确保电磁过滤后沉积粒子的离化率、提高等离子体在过滤屏幕中的有效传输,从而能将离子源产生等离子体中的宏观粒子、离子团和中性原子过滤干净，且经过电磁过滤后沉积粒子的离化率为100%，最终实现致密均匀、平整光滑、抗腐蚀性能好且与基体结合力很强的纳米涂层的制备。

主权项

1.一种纳米涂层设备的电磁过滤装置，包括过滤屏幕、真空系统(2)、标准电弧蒸发器(1)、大颗粒清除装置(6)，标准电弧蒸发器(1)连接真空系统(2)，其特征在于：所述标准电弧蒸发器(1)发射的真空电弧的阳极正极作为真空腔室中的电离结构，真空电弧引起靶材料气化及离子化从而使产生的等离子体在阴极和阳极之间传导电流，即电弧中的等离子体放电，阴极负极制成阴极离子源可替换元件(3)夹持在过滤屏幕上，所述真空电弧的阴极与阳极之间产生电弧，在垂直于电弧阴极表面的附近产生等离子，在磁场的作用下，等离子体中的宏观粒子、中性原子和离子团(5)被打到过滤屏幕上，而纯净的等离子体(4)被偏移到更高磁场分量的位置，最终到达放置基体的转台，以沉积在基体上；所述大颗粒清除装置(6)与过滤屏幕相连接，且设置在过滤屏幕的拐角处，定期清理宏观粒子、中性原子和离子团大颗粒；所述过滤屏幕的外形为一弧状弯管结构；所述阴极离子源可替换元件(3)沿着所述过滤屏幕的外形间隔设置。