[发明专利]用于电解加工平面曲折群沟槽的装置及电解加工方法有效
| 申请号： | 201710287089.8 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106903383B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 罗红平;詹顺达;郭钟宁;陈晓磊;刘桂贤;张永俊;彭浩宇 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H3/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置及电解加工方法，包括：腔体，连接在腔体里的衬底，安装在衬底上的工件，设置在工件的上表面的掩模板，以及设置在掩模板的上表面的阴极块；其中，掩模板的内部设置有加工区弯折主流道，以及与加工区弯折主流道的弯折处连接的辅助供液流道。由于本发明的掩模板采用表面层层压紧的方式固定，形成微小的走液流道进行电解加工，并在加工区弯折主流道的折弯处进行辅助供液，可以使曲折微沟道在电解加工时的各段电解液流场基本均匀，从而在金属工件表面高效加工出尺寸一致性好、表面质量较高的平面曲折群沟槽，并且掩模板可多次重复使用，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电解加工 掩模板 主流道 弯折 曲折 加工区 上表面 衬底 腔体 金属工件表面 尺寸一致性 电解液流 多次重复 高效加工 供液流道 内部设置 弯折处 微沟道 液流道 阴极块 折弯处 供液 压紧 | ||
【主权项】：
1.一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，包括：腔体，连接在所述腔体里的衬底，安装在所述衬底上的工件，设置在所述工件的上表面的掩模板，以及设置在所述掩模板的上表面的阴极块；其中，所述掩模板的内部设置有加工区弯折主流道，以及与所述加工区弯折主流道的弯折处连接的辅助供液流道；所述加工区弯折主流道为镂空结构，所述辅助供液流道为凹槽结构。
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