[发明专利]一种基于数字全息技术的迈克尔逊干涉仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于数字全息技术的迈克尔逊干涉仪及其测量方法，该装置采用两个CCD相机代替传统迈克尔逊干涉仪中的平面反射镜，并引入与球面光相干的平面参考光与球面光发生干涉，利用数字全息技术直接获取两个CCD记录面上的球面光复振幅信息，然后通过最小二乘拟合获取球面光参数，并对球面光复振幅进行解调来得到居中后的球面光复振幅，最后通过数字干涉的方法实现两球面光的干涉。实验结果表明，该装置能实时生动地显示入射球面光的三维图像和两球面光的干涉图像，同时根据拟合得到的参数还能便捷地测量透明等厚介质的折射率，实验中测量了三种不同材料的折射率，其误差均能控制在5%以内，有较高的测量精度。

主权项

一种基于数字全息技术的迈克尔逊干涉仪，其特征在于，包括用于发出激光的氦氖激光器，设置在氦氖激光器前方并用于将激光分为两条线路的第一平面分束镜，设置在第一平面分束镜水平和竖直方向的并用于反射第一平面分束镜分出的光线的第一平面反射镜和第二平面反射镜，设置在第一平面反射镜前方并用于将第一平面反射镜反射的光扩束准直为一束平面光且作为参考光的扩束准直系统，设置在第二平面反射镜前方并用于将第二平面镜反射镜反射后的光变为发散的球面光的第一扩束镜，设置在扩束准直系统和扩束镜交汇处并用于将扩束准直系统和第一扩束镜发出的光分别反射到第一CCD摄像机和第二CCD摄像机的第二平面分束镜，以及与第一CCD摄像机和第二CCD摄像机通过数据线连接的计算机。