[发明专利]红外线传感器有效
| 申请号： | 201710274259.9 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107490437B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 高桥宏平;川崎隆志;内藤康幸;富山盛央 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 万利军;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有高灵敏度的检测特性的红外线传感器。本公开的红外线传感器构成为：利用由贯通孔周期性地排列而成的薄膜状的声子晶体所形成的梁(13)将红外线受光部(12)和基体基板(11)分离，由所述声子晶体形成的梁(13)构成为：从所述红外线受光部(12)朝向所述基体基板(11)方向，每隔任意的间隔，贯通孔的周期(P)增大。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 传感器 | ||
【主权项】：
一种红外线传感器，具备：具有凹部的基体基板；热电堆红外线受光部；第1梁；以及第2梁，所述第1梁的一端与所述红外线受光部连接，所述第1梁的另一端与所述基体基板连接，所述第2梁的一端与所述红外线受光部连接，所述第2梁的另一端与所述基体基板连接，在剖视时，所述凹部夹在所述红外线受光部与所述基体基板之间，以使得所述红外线受光部悬架在所述基体基板的上部，在剖视时，所述凹部夹在所述第1梁与所述基体基板之间，以使得所述第1梁悬架在所述基体基板的上部，在剖视时，所述凹部夹在所述第2梁与所述基体基板之间，以使得所述第2梁悬架在所述基体基板的上部，所述第1梁包含p型第1域以及p型第2域，在俯视时，所述p型第1域夹在所述p型第2域与所述红外线受光部之间，所述p型第1域由具备以周期p1p规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，所述p型第2域由具备以周期p2p规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，所述周期p2p的值比所述周期p1p的值大，所述第2梁包含n型第1域以及n型第2域，在俯视时，所述n型第1域夹在所述n型第2域与所述红外线受光部之间，所述n型第1域由具备以周期p1n规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，所述n型第2域由具备以周期p2n规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，并且，所述周期p2n的值比所述周期p1n的值大。
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