[发明专利]一种射频等离子体—催化剂协同作用反应装置

摘要

本发明公开了一种射频等离子体—催化剂协同作用反应装置，包括非平衡等离子反应室，带有冷却通道的空心管状金属螺旋线圈，带有催化剂的催化体，进气封闭端头和进气端密封法兰，排气封闭端头和排气端密封法兰，以及电磁屏蔽罩等部件。本发明是针对电感耦合射频等离子体与催化剂协同作用设置的反应装置，采用石英制成的非平衡等离子反应室作为气体反应通道，利用金属螺旋线圈使相应其他产生非平衡等离子体在通道内与催化剂协同作用驱动完成化学反应，以便后续进行反应后气体的成分分析，进而实现化工合成、温室效应气体回收利用兼可再生能源高效储存方面的应用，具有反应选择性强、能量利用效率高等优点。

主权项

1.一种射频等离子体—催化剂协同作用反应装置，其特征在于，包括呈空心筒状的非平衡等离子反应室(1)，套置于非平衡等离子反应室一端并带有进气口(4)的进气封闭端头(3‑1)，设置于进气封闭端头与非平衡等离子反应室之间的进气端密封法兰(3‑2)，套置于非平衡等离子反应室另一端并带有排气口(6)的排气封闭端头(5‑1)，设置于排气封闭端头与非平衡等离子反应室之间的排气端密封法兰(5‑2)，安设于非平衡等离子反应室内部并可配置反应位置的催化体(12)，环绕设置于非平衡等离子反应室外侧中部的金属螺旋线圈(13)，将金属螺旋线圈设置为空心管状构成的冷却通道(2)，设置于金属螺旋线圈两端的射频功率传输线接头(14)，以及将非平衡等离子反应室和金属螺旋线圈套置在内的电磁屏蔽罩(11)；其中，所述空心管状的金属螺旋线圈两端分别形成与冷却通道连通的冷却水入口(7)和冷却水出口(8)。