[发明专利]一种提高刻蚀药液寿命的工艺

摘要

本发明公开了一种提高刻蚀药液寿命的工艺，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入2～15％盐，盐为强酸弱碱盐，同时加入13～40‰乙氧基化合物；其中刻蚀药液中的SiF₆^2‑阴离子与盐水解的磁性阳离子反应通式如下：刻蚀药液中的H⁺阳离子与盐水解的阴离子反应通式如下：步骤2)：将搅匀后的混合溶液经过磁场频率为20～40kHz空化，然后再将空化后溶液中的沉淀物X₂(SiF₆)_n滤出，滤出沉淀物X₂(SiF₆)_n后的溶液再通过离子交换树脂，得到滤液；步骤3)：向步骤2)中的滤液加入去离子水，保持pH值为1.8～2.3。本发明可延长刻蚀药液寿命，保证药液活性，延长了刻蚀药液更换周期，同时其寿命延长期间隔离率趋势稳定。

主权项

1.一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入其质量2～15％的盐，盐为强酸弱碱盐，阳离子为Fe²⁺、Co²⁺、Ni²⁺、Cu²⁺、Cr³⁺或Al³⁺离子，阴离子为Cl^‑、SO₄^2‑或NO₃^‑酸根离子，同时加入其质量13～40‰的乙氧基化合物，混合并搅匀；其中刻蚀药液中的SiF₆^2‑阴离子与强酸弱碱盐水解的磁性阳离子反应通式如下：刻蚀药液中的H⁺阳离子与强酸弱碱盐水解的阴离子反应通式如下：步骤2)：将搅匀后的混合溶液经过磁场频率为20～40kHz空化，然后再将空化后溶液中的沉淀物X₂(SiF₆)_n滤出，滤出沉淀物X₂(SiF₆)_n后的溶液再通过离子交换树脂，得到滤液；步骤3)：向步骤2)中的滤液加入去离子水，形成新溶液，保持pH值为1.8～2.3。