[发明专利]一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器

摘要

一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，包括检测元件和同步元件，分别置于第一振荡电路和第二振荡电路中并形成两个自激振荡器，检测元件和同步元件通过平板电容静电耦合，微弱的同步电流得以穿过，影响并降低检测元件振荡器的相位噪声，大幅提升其频率稳定性，其固有频率可通过频率计数器读取。三个检测元件分别通过放大梁围绕一个六边形质量块均匀分布，质量块用于感受重力加速度并施加拉压力于放大梁上，放大梁放大并传递该力于检测元件，改变其自激振荡频率，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，反演出整个器件所受加速度大小及方向。