[发明专利]成像方法、装置及系统

摘要

本发明公开了成像方法，方法用于光学检测系统，光学检测系统包括成像装置和载台，成像装置包括镜头模组和对焦模组，方法包括以下对焦步骤：利用对焦模组发射光至置于载台上的样品上；使镜头模组沿光轴移动到第一设定位置；使镜头模组从第一设定位置以第一设定步长沿光轴向样品移动并判断对焦模组是否接收到由样品反射的光；在对焦模组接收到由样品反射的光时，使镜头模组以小于第一设定步长的第二设定步长沿光轴向样品移动，并根据对焦模组接收到的光的光强计算出第一光强参数，判断第一光强参数是否小于第一设定光强阈值；在第一光强参数小于第一设定光强阈值时，保存镜头模组的当前位置作为保存位置。上述成像方法，便于操作且可降低成本。

主权项

1.一种成像方法，其特征在于，所述方法用于光学检测系统，所述光学检测系统包括成像装置和载台，所述成像装置包括镜头模组和对焦模组，所述镜头模组包括光轴，所述载台用于承载样品，所述方法包括以下对焦步骤：利用所述对焦模组发射光至置于所述载台上的所述样品上；使所述镜头模组沿所述光轴移动到第一设定位置；使所述镜头模组从所述第一设定位置以第一设定步长沿所述光轴向所述样品移动并判断所述对焦模组是否接收到由所述样品反射的所述光；在所述对焦模组接收到由所述样品反射的所述光时，使所述镜头模组以小于所述第一设定步长的第二设定步长沿所述光轴向所述样品移动，并根据所述对焦模组接收到的所述光的光强计算出第一光强参数，判断所述第一光强参数是否小于第一设定光强阈值；在所述第一光强参数小于所述第一设定光强阈值时，保存所述镜头模组的当前位置作为保存位置。