[发明专利]一种单晶炉在审
| 申请号： | 201710224908.4 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106757316A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 杨晓红;朱伟忠;苏晓良;周杰;沈浩锋;王宏琳;俞敏人 | 申请（专利权）人： | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/30;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单晶炉，包括主炉室、副室、坩埚、坩埚提升机构和晶体提拉机构，还包括称重机构，设置在晶体提拉机构上，晶体提拉机构的提拉绳承载于所述称重机构上，用于称量晶体重量；锅跟比调节装置，与称重机构和坩埚提升机构均控制连接，用于根据称重机构所称量的当前时刻的晶体重量、坩埚的装料总重量和坩埚的内部尺寸得到当前时刻的理论锅跟比，并根据理论锅跟比调整坩埚提升机构的提升速度，使坩埚的实际锅跟比接近理论锅跟比。本单晶炉通过增加称重机构和锅跟比调节装置，利用坩埚内的装料总重量和实时称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来实时动态控制坩埚提升机构的提升速度，避免锅跟比过小或者过大影响晶体生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种单晶炉，包括主炉室(4)、副室(2)、坩埚(5)、坩埚提升机构(6)和晶体提拉机构(1)，其特征在于，还包括：称重机构(7)，设置在所述晶体提拉机构(1)上，所述晶体提拉机构(1)的提拉绳(11)承载于所述称重机构(7)上，用于称量晶体重量；锅跟比调节装置，与所述称重机构(7)和所述坩埚提升机构(6)均控制连接，用于根据所述称重机构(7)所称量的当前时刻的晶体重量、所述坩埚(5)的装料总重量和所述坩埚(5)的内部尺寸得到当前时刻的理论锅跟比，并根据所述理论锅跟比调整所述坩埚提升机构(6)的提升速度，使所述坩埚(5)的实际锅跟比接近所述理论锅跟比。
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