[发明专利]样品分析系统有效
申请号: | 201710223360.1 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN106990255B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 埃弗斯塔迪·米尔彻夫·阿普斯托勒沃 | 申请(专利权)人: | 鲁汶仪器有限公司(比利时) |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00 |
代理公司: | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人: | 袁伟东 |
地址: | 比利时鲁*** | 国省代码: | 比利时;BE |
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摘要: | 本发明提供一种样品分析系统,包括,工作台、安装在工作台上的椭偏仪、气体单元和样品台,以及对测量过程和结果进行总括控制的计算机,在工作台上安装有垂直柱,垂直柱上端部处具有伸出的悬臂,在悬臂上安装有有角支撑件;气体单元包括用于载气和工作流体的精密流量计、混合器和喷嘴,精密流量计安装在所述有角支撑件中,通过管路与所述混合器相连,混合器通过端部管喷嘴相连;样品台通过邻接元件安装在工作台上,样品台的高度和角度方向可根据椭偏仪两个臂的位置进行调节;其中,有角支撑件对喷嘴的下表面与样品台之间的平行以及喷嘴的下表面到样品台的工作表面之间的距离进行调节。实现了系统结构的紧凑性及重要功能原件的机械调节。 | ||
搜索关键词: | 样品 分析 系统 | ||
【主权项】:
1.一种样品分析系统,包括,工作台、安装在工作台上的椭偏仪、气体单元和样品台,以及对测量过程和结果进行总括控制的计算机,其特征在于,在所述工作台(4)上安装有垂直柱(1),所述垂直柱(1)上端部处具有伸出的悬臂(2),在所述悬臂(2)上安装有有角支撑件(12);所述气体单元包括用于载气和工作流体的精密流量计(17、18)、混合器(21)和喷嘴(13),所述精密流量计(17、18)安装在所述有角支撑件(12)中,通过管路(19、20)与所述混合器(21)相连,所述混合器(21)通过端部管(22)与所述喷嘴(13)相连;所述样品台(6)通过邻接元件(5)安装在工作台(4)上,所述样品台(6)的高度和角度方向可根据椭偏仪两个臂的位置进行调节;其中,所述有角支撑件(12)对喷嘴(13)的下表面与所述样品台(6)之间的平行以及所述喷嘴(13)的下表面到所述样品台(6)的工作表面之间的距离进行调节。
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