[发明专利]一种离子源测试夹具

摘要

本发明公开了一种离子源测试夹具，该夹具包括金属底座，放置于金属底座卡槽内的金属单尖样品，通过螺钉固定在金属底座上的绝缘层压块，通过螺柱和螺母固定在金属底座上的绝缘遮蔽层，通过螺钉固定在绝缘遮蔽层上的栅极金属片。该夹具通过螺柱和对称分布的L型压块控制栅极金属片和绝缘遮蔽层的相对位置，使得绝缘遮蔽层的位置在水平和竖直方向可调，金属单尖样品的尖端刚好位于栅极金属片的圆孔中心。本发明的离子源测试夹具通过在阴栅电极之间施加高电压以实现离子发射，同时具有阴栅电极之间相对位置三维可调，并抑制栅极电子发射的功能。

主权项

一种离子源测试夹具，其特征在于：所述的测试夹具包括金属底座（1），金属单尖样品（2）、绝缘层压块（3），绝缘遮蔽层（4），栅极金属片（5），螺柱（6），金属单尖样品（2）的剖面为T型，T型的底部为固定端，T型的顶部为尖端，金属单尖样品（2）的固定端固定在金属底座（1）的卡槽内，金属单尖样品（2）的尖端竖直朝上，金属单尖样品（2）的尖端从下至上顺序穿过绝缘层压块（3）、绝缘遮蔽层（4）和栅极金属片（5），金属单尖样品（2）的尖端与栅极金属片（5）的上表面平齐，所述的栅极金属片（5）上开有圆孔Ⅰ，金属单尖样品（2）的尖端位于圆孔Ⅰ的中心；绝缘层压块（3）、绝缘遮蔽层（4）通过螺钉固定在金属底座（1）上。