[发明专利]聚合物微盘与液体微腔级联的高灵敏度生化传感器

摘要

本发明公开了一种聚合物微盘与液体微腔级联的高灵敏度生化传感器。其包括从下往上依次层叠的基底、下包层和上包层；所述下包层设置有贯穿其上表面的单模波导，所述单模波导的两端分别设置有光输入端和光输出端；所述单模波导与所述光输入端连接的一端设置有第一弧形部分，与所述光输出端连接的一端设置有第二弧形部分；所述第一弧形部分的外侧设置有参考微盘，所述参考微盘通过第一多模干涉耦合器与所述第一弧形部分连接；所述第二弧形部分的外侧设置有液体微腔，所述液体微腔通过第二多模干涉耦合器与所述第二弧形部分连接。本发明结构简单紧凑、性能稳定，易于集成化、规模化，抗电磁干扰能力强，在低浓度生物检测领域具有很强的实际应用价值。

主权项

1.一种聚合物微盘与液体微腔级联的高灵敏度生化传感器，其特征在于，包括从下往上依次层叠的基底、下包层(1)和上包层；所述下包层(1)设置有贯穿其上表面的单模波导(4)，所述单模波导(4)的两端分别设置有光输入端(2)和光输出端(3)；所述单模波导(4)与所述光输入端(2)连接的一端设置有第一弧形部分(5)，与所述光输出端(3)连接的一端设置有第二弧形部分(6)；所述第一弧形部分(5)和第二弧形部分(6)均为向所述单模波导(4)外侧凸起的弧形结构；所述第一弧形部分(5)的外侧设置有参考微盘(7)，所述参考微盘(7)具有近似周期滤波特性的回音壁模式谐振腔，所述参考微盘(7)通过第一多模干涉耦合器(8)与所述第一弧形部分(5)连接；所述第二弧形部分(6)的外侧设置有液体微腔(9)，所述液体微腔(9)从上包层刻蚀穿透基底，以被测液体作为波导芯层，利用芯层导模传感，所述液体微腔(9)通过第二多模干涉耦合器(10)与所述第二弧形部分(6)连接。/n