[发明专利]一种实时补偿的大口径准直波前误差检测装置及方法有效
| 申请号： | 201710196405.0 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107024284B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 朱学亮;田爱玲;张佳莹;王红军;刘丙才;王春慧 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种实时补偿的大口径准直波前误差检测装置，包括光束采样子装置和光束接收子装置，所述光束采样子装置由五棱镜，直线导轨和第二CCD组成，还包括光束补偿子装置，所述光束补偿子装置由激光器、分光棱镜、第一CCD、直角棱镜和第三CCD组成；本发明同时还公开了一种实时补偿的大口径准直波前误差检测方法，该检测方法实现了对待测准直光束在导轨不同振动状态下时的系统误差进行实时补偿的目的，避免了因空气扰动和环境振动对直线导轨的影响而引起的系统误差。同时具有测量方法简单、测量精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 补偿 口径 准直波前 误差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种实时补偿的大口径准直波前误差检测装置，包括光束采样子装置和光束接收子装置，所述光束采样子装置由五棱镜（5），直线导轨（6）和第二CCD（8）组成，其特征在于：还包括光束补偿子装置，所述光束补偿子装置由激光器（1）、分光棱镜（3）、第一CCD（2）、直角棱镜（4）和第三CCD （9）组成，所述分光棱镜（3）位于激光器（1）的发射光路上，分光棱镜（3）的分光面与光轴成45度角，直角棱镜（4）的斜面上镀有半透半反膜，直角棱镜（4）的直角面垂直于直线导轨设置，直角面产生反射光束返回分光棱镜（3），最后由第一CCD（2）接收；另一束光进入直角棱镜（4）并两次反射后平行于原光路出射，被第三CCD（9）接收；所述直线导轨（6）置于待测准直光束的垂直照射方向的光路中，且待测准直光束的束宽应小于所述直线导轨（6）的长度；所述直角棱镜（4）和五棱镜（5）固定在底座（10）上，底座（10）可活动地设置于直线导轨（6）上，五棱镜（5）主截面锐角的一边所在面向来光方向，该面成为光束入射面，另一边所在面为光束出射面，二者一起设置于直线导轨（6）上；所述第二CCD（8）与成像透镜（7）同轴设置于五棱镜（5）的出射光路上，成像透镜（7）位于光束出射面和第二CCD（8）之间，第二CCD（8）位于成像透镜（7）的焦点处。
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