[发明专利]一种调控磁性纳米环尺寸的方法

摘要

本发明公开了一种调控磁性纳米环尺寸的方法。本发明中的磁性纳米环采用聚苯乙烯微球模板法制备，首先在基片上制备单分散的聚苯乙烯微球，然后利用磁控溅射沉积薄膜的方法在基片上分别沉积一层非磁性薄膜和磁性薄膜，再利用离子刻蚀技术对制备的薄膜进行离子减薄，从而形成单分散的磁性纳米环结构样品。在此过程中，通过调节聚苯乙烯微球的大小和非磁性过渡层的厚度，可以实现对目标结构磁性纳米环尺寸的调控，包括磁性纳米环外径、内径和环宽度的调控；通过对磁性层薄膜溅射时间的控制可以实现对磁性纳米环厚度的调控。该方法工艺简单，方便可靠，可以制备各种尺寸和材质的磁性纳米环，满足不同的试验需要和科学研究。

主权项

一种调控磁性纳米环尺寸的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：选取一种基片作为薄膜样品的衬底，切割成长10mm、宽10mm、厚0.5mm的大小；丙酮超声波清洗10‑15min，再用去离子水超声波清洗10‑15min，最后用无水乙醇超声波清洗10‑15min，清洗干净后取出基片用高纯氮气吹干备用；步骤二：选取一种聚苯乙烯微球乳液，按照乳液与去离子水体积比1:200进行稀释后，在超声波清洗器中超声分散10‑15min，使聚苯乙烯微球充分分散；将分散好的聚苯乙烯微球溶液滴在步骤一中清洗干净的基片上，放置干燥箱中干燥；步骤三：待基片充分干燥后，将其放入磁控溅射腔内，用磁控溅射方法先在基片上沉积非磁性过渡层，再沉积一层磁性薄膜，将基片放置于离子刻蚀仪器中，对薄膜进行离子减薄；在聚苯乙烯纳米微球周围形成环状的磁性纳米结构，即磁性纳米环。聚苯乙烯微球根据需要与否，用丙酮溶液将其从基片上清洗掉，得到磁性纳米环。