[发明专利]测试擦写一体机在审
| 申请号： | 201710175702.7 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107179493A | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘波;虞君新 | 申请（专利权）人： | 无锡圆方半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司11279 | 代理人： | 田昕 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试擦写一体机。包括上料单元、测试单元、擦写单元和控制器；所述上料单元设置有第一机械手和第二机械手；所述测试单元设置有载片台；所述第一机械手用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台上进行测试；所述第二机械手用于将载片台上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元内进行擦写；所述控制器与上料单元、测试单元和擦写单元电连接；所述控制器用于接收测试单元、擦写单元信号后对第一机械手、第二机械手发出指令。本测试擦写一体机有效地将传统测试装置和擦写装置相结合，使测试过程更加简便，实现全流程自动化操作，降低人工操作风险，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 擦写 一体机 | ||
【主权项】：
测试擦写一体机，其特征在于：包括上料单元、测试单元、擦写单元和控制器；所述上料单元设置有第一机械手和第二机械手；所述测试单元设置有载片台；所述第一机械手用于取出晶圆，并将取出的晶圆放置在载片台上进行测试；所述第二机械手用于将载片台上的晶圆取出，并将取出的晶圆放置在擦写单元内进行擦写；所述控制器与上料单元、测试单元和擦写单元电连接；所述控制器用于接收测试单元、擦写单元信号后对第一机械手、第二机械手发出指令。
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