[发明专利]基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法

摘要

本发明涉及一种基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法。激光干涉仪产生球面光束；调心装置调整球心位置，对准光束焦点；球面光束对球体表面进行扫描；拍照获取球体表面局部干涉图；生成球体局部表面形貌图；展开机构进行球面展开；重复第二步至第五步5‑20次，获取不同球体位置的表面形貌图；提取多幅局部表面形貌图特征点，拼接生成完整表面形貌平面图；完整表面形貌平面图转化为球面表面形貌图；表面形貌球面图进行球形误差评估。本发明能够在不接触球体的情况下，反应整个精密球体的球形误差，适合大批量采样检测，批一致性得到保证，满足高品质轴承球的检测与质量控制要求。

主权项

一种基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：激光干涉仪产生球面光束；S2：调心装置调整球心位置，球心对准光束焦点；S3：球面光束对球体表面进行扫描；S4：拍照获取球体表面局部干涉图；S5：生成球体局部表面形貌图；S6：展开机构进行球面展开；S7：重复S2‑S5步骤5‑20次，获取不同球体位置的表面形貌图；S8：提取多幅局部表面形貌图特征点，拼接生成完整表面形貌平面图；S9：将完整表面形貌平面图转化为表面形貌球面图；S10：表面形貌球面图进行球形误差评估。