[发明专利]一种用于磁悬浮轴承系统的自差分电感式位移传感器

摘要

本发明公开了一种用于磁悬浮轴承系统的自差分电感式位移传感器，属于传感器技术领域。本发明的自差分电感式位移传感器包括交流励磁电源电路、传感器传感元件和测量电路。所述的传感器传感元件由铁芯、线圈、衔铁组成，铁芯包括U型、开口相对的上下两部分，衔铁位于上下两个铁芯之间，线圈包括上线圈和下线圈两部分，上线圈由两个电感线圈L1和L2串联，下线圈由电感线圈L3和L4串联，电感线圈L2和L3两端串联后作为输出端。电感线圈L1的自由端接激励信号，电感线圈L4的自由端接地。本发明的传感器采用电感线圈自感原理，在结构形式上采用变气隙式差动结构，提高了系统的精度，减小了测量电路的复杂性。

主权项

一种用于磁悬浮轴承系统的自差分电感式位移传感器，其特征在于：包括交流励磁电源电路、传感器传感元件和测量电路；所述的交流励磁电源电路由三角波发生电路和缓冲电路构成；传感器传感元件由线圈在上下两只铁芯上绕制成变气隙式差动结构；测量电路包括放大电路、检波电路和滤波电路；所述的三角波发生电路产生三角波信号接入缓冲电路，缓冲电路调节三角波的振幅后，通过传感器传感元件接入测量电路中的放大电路，所述的放大电路对信号进行三阶放大后接入检波电路，检波电路中获得信号的峰峰值接入滤波电路，并通过滤波电路获得最终的输出电压值V_out，提供给磁轴承控制系统。