[发明专利]一种高速高精度非接触式三坐标测量机及其测量方法在审

专利信息
申请号: 201710130659.2 申请日: 2017-03-07
公开(公告)号: CN106679589A 公开(公告)日: 2017-05-17
发明(设计)人: 姜峰;张涛 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 代理人: 张松亭;秦彦苏
地址: 362000*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种高速高精度非接触式三坐标测量机及其测量方法,该测量机包括机床,机床上设有主轴,主轴上装接有载物台,工件装夹在载物台上;机床上还设有第一方向进给机构和第二方向进给机构;主轴带动工件旋转,激光位移传感器通过第一方向进给机构和第二方向进给机构对工件表面进行扫描并采集工件上的点的位置数据,经数据处理得到工件的三维形貌。本发明改变了传统三坐标测量机的运动形式,将测量头一个方向的直线运动改变为被测工件的旋转运动,克服了传统三坐标测量机因频繁加减速而造成的测量速度低下的问题,同时测量头采用高精度的激光位移传感器,可大幅度提高三坐标的测量的精度,满足现代生产制造中对测量精度的需求。
搜索关键词: 一种 高速 高精度 接触 坐标 测量 及其 测量方法
【主权项】:
一种高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:包括:机床;工作台,装接在机床;主轴,装接在机床且穿出工作台;载物台,设在工作台上并装接在主轴,载物台可通过主轴带动旋转且二者回转轴线重合;该载物台包括圆盘形的载物台主体,该载物台主体上设有环形滑槽,该环形滑槽内滑动装接有两个可被固定的平衡块;工件,装接在载物台且可通过载物台带动旋转;框架,装接在工作台;第一方向进给机构,装接在框架;第二方向进给机构,装接在第一方向进给机构;激光位移传感器,装接在第二方向进给机构,其测量方向与工件相对;该激光位移传感器的测量精度优于10nm,最大采样频率不低于492kHz;在线动平衡仪,与框架和载物台相连;用于控制第一方向进给机构和第二方向进给机构的控制器,与第一方向进给机构和第二方向进给机构相连接;通过主轴带动工件旋转,激光位移传感器通过第一方向进给机构对工件表面进行扫描并采集工件表面的点的位置数据,处理得到工件的三维形貌。
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