[发明专利]带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构

摘要

本发明公开了一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，涉及镀膜机技术领域，镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，定轴的上端部固定在罩体的顶部，转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个角度可调的膜片行星盘机构。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，可实现膜片自转和角度可调。

主权项

1.一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，包括转筒传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，其特征在于：所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴的下端设置锥形主动齿轮，旋转板下端与支撑部件对应位置固定设置一个连接上座，连接上座上固定设置一个与自转轴垂直的横轴，横轴上同轴心设置有与锥形主动齿轮啮合的锥形传动齿轮，连接上座连接一个连接下座，连接下座可绕横轴相对连接上座转动，连接下座上设置与横轴垂直的从动轴以及支撑从动轴的支撑部件，从动轴的上端设置与锤形传动齿轮相配合的锤形从动齿轮，锤形从动齿轮带动从动轴的转动，从动轴的下端用于安装工件架装载基片。