[发明专利]一种复合纳米压印光刻机及工作方法

摘要

本发明公开了一种复合纳米压印光刻机及工作方法，它解决了压印图形存在较大的变形，压印精度低，压印质量差的问题，利用辊轮、复合软模具、工作台的密切配合，在正负压共同和协同作用下，高效自动完成大面积压印和揭开式脱模，实现对超大尺寸刚性衬底的大面积微纳米图形化。其技术方案为：包括底座，所述底座上固定工作台，所述工作台的移动台面上设置真空吸盘，真空吸盘真空吸附着基材，基材上均匀涂铺压印材料；基材上方对应配合设置有压印模组，所述压印模组包括压印组件和固化组件，所述压印组件包括辊轮，所述辊轮外表面真空吸附着复合软模具，所述辊轮外表面包覆弹性材料层，所述复合软模具与辊轮接触的一侧设置柔性材料层。

主权项

1.一种复合纳米压印光刻机，其特征是，包括底座，所述底座上固定工作台，所述工作台的移动台面上设置真空吸盘，真空吸盘真空吸附着基材，基材上均匀涂铺压印材料；基材上方对应配合设置有压印模组，所述压印模组与上下移动机构连接，所述上下移动机构包括垂直固定于底座上的导向杆，所述导向杆上穿设有动板，动板底部与压印模组连接，动板顶部与驱动装置连接；所述压印模组包括压印组件和固化组件，固化组件设置于压印组件后侧，所述压印组件包括辊轮，所述辊轮外表面真空吸附着复合软模具，所述复合软模具与辊轮接触的一侧设置柔性材料层，所述辊轮通过连接架与动板连接，所述辊轮包括辊轮基体，辊轮基体外表面包覆弹性材料层，所述辊轮基体第一端与动力装置连接，辊轮基体第二端均匀布设多个进气孔，进气孔通过硬质管路与旋转接头旋转部分的出气口对应连接，压力管路和真空管路均与旋转接头固定部分的连接孔相连接，连接孔和出气口连通；所述驱动装置固定于顶板上；所述动板和导向杆之间通过直线轴承连接；所述驱动装置为电动缸；/n灯架导向板上设置滑槽，滑槽内设置有滑块，固化光源灯架配合设置于滑槽处，所述滑块与固化光源灯架固定连接；所述滑槽呈弧形，滑槽第一端与灯架导向板一侧边连接，滑槽第二端与灯架导向板另一侧边连接；滑槽第一端的高度低于滑槽第二端；所述固化光源灯架与滑槽配合处设置紧固件；所述固化光源灯架上固定UV曝光灯；所述UV曝光灯的高度高于辊轮最低端的高度；/n所述复合软模具包括图形层和支撑层，支撑层位于图形层之上，图形层包含所要复制的微纳特征结构，所述柔性材料层设置于支撑层之上；/n所述图形层的厚度范围是10-50微米，支撑层的厚度范围是100-500微米，柔性材料层的厚度范围是100-500微米。/n