[发明专利]一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710089968.X | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN108456883B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;关晓艳;刘正兵;李金龙;鲁侠;王立平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C8/24;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/46;C23C14/58;C23C14/02 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法。该方法采用磁控溅射和离子束相结合的技术，首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层，然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层，最后进行退火处理，制得的多层结构薄膜在力学性能和减磨耐磨等方面均获得提升，其硬度为20GPa～25GPa，划痕结合强度大于35N，液压油环境中的摩擦系数小于0.1，液压油环境中的磨损率小于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 碳基减摩 耐磨 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法，其特征是：首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层，然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层，最后进行退火处理。
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