[发明专利]一种减缓铝腐蚀的显影液在审
| 申请号： | 201710088254.7 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN106707701A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 杜冰;顾群艳;梁豹;鲍杰;赵建龙;张兵;向文胜;朱坤 | 申请（专利权）人： | 昆山艾森半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体加工技术领域，涉及一种减缓铝腐蚀的显影液，其配方包括1‑10wt％氢氧化季铵，0.1‑10wt％缓蚀剂，0.01‑3wt％表面活性剂以及余量的去离子水。本发明对铝基材的腐蚀速度慢，不形成泡沫，显影干净，未曝光区域损失更小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减缓 腐蚀 显影液 | ||
【主权项】：
一种减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于配方包括：1‑10wt％氢氧化季铵，0.1‑10wt％缓蚀剂，0.01‑3wt％表面活性剂以及余量的去离子水。
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