[发明专利]一种简易新颖的薄膜热学性能测试结构有效
| 申请号： | 201710087081.7 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN106841285B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;陈金华;李航;李方圆;太惠玲;王涛;王军 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及材料的热学性能测试技术领域，特别涉及一种简易新颖的薄膜热学性能测试结构，包括设置于衬底上的串联多个相同悬臂梁，所述悬臂梁由平面图形相同的待测薄膜和测温加热电阻薄膜由下至上完全重叠设置而成。本发明有用信号大从而获得较理想的信噪比，可有效降低对后续信号处理电路的要求；结构可靠，避免了由于悬臂梁过长导致其与衬底接触而失效的风险，可以极大减小工艺难度、提高制作成功率；制备工艺简单，一次成型；结果精确，热学参数表达式简单，测试手段相对简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 新颖 薄膜 热学 性能 测试 结构 | ||
【主权项】：
1.一种简易新颖的薄膜热学性能测试结构，其特征在于：包括设置于衬底上的串联多个相同悬臂梁，所述悬臂梁由平面图形完全相同的待测薄膜和测温加热电阻薄膜由下至上完全重叠设置而成；所述悬臂梁浮空设于衬底上；/n所述单个悬臂梁的长宽比小于10；/n单个悬臂梁初始只有三层，包括加热及测温电阻层、待测薄膜层、牺牲层，所述牺牲层释放后悬臂梁浮空；/n使用此结构测试时，待测薄膜热导率为：/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710087081.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有排污功能的Y型过滤器
- 下一篇：一种智能压力容器
