[发明专利]一种射频发生器控制电路及射频发生器有效
| 申请号： | 201710078057.7 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN106873712B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 耿束建;薛年喜;周航 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F1/02 | 分类号： | G06F1/02 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种射频发生器控制电路，包括控制模块、变换器模块和功放模块，所述控制模块设有DDS电路和比较器，DDS电路产生射频正弦信号，射频正弦信号通过比较器转换为方波信号输送到功放模块；控制模块连接变换器模块，控制模块控制变换器模块产生两路单极性波形，变换器模块对两路单极性波形叠加、处理后形成直流电压；所述直流电压为功放模块供电，功放模块即输出功率可调的射频电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 发生器 控制电路 | ||
【主权项】：
一种射频发生器控制电路，包括控制模块、变换器模块和功放模块，其特征在于，所述控制模块设有DDS电路和比较器，DDS电路产生射频正弦信号，射频正弦信号通过比较器转换为方波信号输送到功放模块；控制模块连接变换器模块，变换器模块中包括V/F波形产生模块、高功率MOSFET管、耦合变压器和整流桥;控制模块控制变换器模块中的V/F波形产生模块产生两路单极性波形，两路单极性波形通过高功率MOSFET管、耦合变压器和整流桥后形成直流电压；所述直流电压为功放模块供电，功放模块即输出功率可调的射频电流。
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