[发明专利]一种锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法

摘要

一种锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法，属于新能源材料领域。热处理后的二氧化钛纳米管阵列作为基体，经过抽真空、加热、预溅射、溅射后，冷却至40～80℃取出，其中溅射为打开射频电源溅射硅；溅射过程中基体加热，完成后冷却至40～80℃后取出样品。将其作为负极载体材料，采用磁控溅射技术将硅溅射到二氧化钛纳米管薄膜表面和内部，沉积效率高，方法简便，重复性好。

主权项

一种锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法，其特征在于，过程包括以下步骤：(1)钛基底预处理：钛金属基底表面油性物质与轧制与储存过程产生的氧化层通过物理超声与化学酸洗过程去除，具体为采用丙酮、乙醇、去离子水超声，取出烘干后酸洗，酸洗后在去离子水中超声5～30min，烘干备用；(2)预处理后的钛片采用脉冲阳极氧化：在含有氟离子的水溶液体系中进行阳极氧化；(3)热处理：将步骤(2)氧化后的样品在300～500℃进行热处理，保温1‑3h，然后随炉冷却至室温；(4)磁控溅射制备锂电池负极薄膜：以步骤(3)热处理后的二氧化钛纳米管阵列为基体，经过抽真空、加热、预溅射、溅射后，冷却至40～80℃取出，其中溅射为：打开射频电源溅射硅；溅射过程中基体加热，完成后冷却至40～80℃后取出样品。