[发明专利]扫描曝光装置

摘要

本发明的扫描曝光装置具有：旋转筒，其在由外周面支承基板的长度方向的一部分的状态下绕第2中心轴旋转而将基板沿长度方向输送；照明机构，其分别向着第1照明区域和第2照明区域照射照明光；投影光学系统，其在支承于旋转筒的基板上，向着第1投影区域，来投影第1照明区域内所显现的光罩图案的像，并且向着第2投影区域，来投影第2照明区域内所显现的光罩图案的像；第1刻度部；第2刻度部；光罩侧读取机构，其在从第1中心轴观察而分别位于与第1照明区域和第2照明区域相同的方位上的第1刻度部上的两个位置上分别读取刻度；和基板侧读取机构，其在从第2中心轴观察而分别位于与第1投影区域和第2投影区域相同的方位上的第2刻度部上的两个位置上分别读取刻度。

主权项

1.一种扫描曝光装置，其将光罩图案沿着基板的长度方向扫描曝光至具有挠性的长条的所述基板上，该光罩图案是在绕第1中心轴旋转的圆筒光罩上沿着圆筒面形成的，所述扫描曝光装置的特征在于，具有：旋转筒，其具有从与所述第1中心轴平行设定的第2中心轴起为一定半径的外周面，该旋转筒在由所述外周面支承所述基板的长度方向的一部分的状态下绕所述第2中心轴旋转而将所述基板沿长度方向输送；照明机构，其分别向着第1照明区域和第2照明区域照射用于曝光的照明光，该第1照明区域和第2照明区域以在所述圆筒光罩的圆筒面的圆周方向上仅分离第1角度的方式设定在所述光罩图案上；投影光学系统，其在支承于所述旋转筒的所述基板上，向着设定于所述旋转筒的外周面的圆周方向的第1特定位置的第1投影区域，投影所述第1照明区域内所显现的所述光罩图案的像，并且向着从所述第1特定位置仅以与所述第1角度对应的第2角度沿所述旋转筒的圆周方向分离地设定于所述基板的第2投影区域，投影所述第2照明区域内所显现的所述光罩图案的像；第1刻度部，其为了计测所述光罩图案的圆周方向的位置变化而与所述圆筒光罩一同绕所述第1中心轴旋转，并且具有形成为环状的刻度；第2刻度部，其为了计测所述基板的圆周方向的位置变化而与所述旋转筒一同绕所述第2中心轴旋转，并且具有形成为环状的刻度；光罩侧读取机构，其在从所述第1中心轴观察而分别位于与所述第1照明区域和所述第2照明区域相同的方位的所述第1刻度部上的两个位置，分别读取所述刻度；和基板侧读取机构，其在从所述第2中心轴观察而分别位于与所述第1投影区域和所述第2投影区域相同的方位的所述第2刻度部上的两个位置，分别读取所述刻度。