[发明专利]一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种基板异物和光学浓度的检测装置，包括设置在基板上方的光发射单元，用于向基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；反射光接收单元，用于接收基板表面的反射光；设置在基板下方的透射光接收单元，用于接收透过基板的透射光；与反射光接收单元和透射光接收单元分别连接的处理单元，用于捕捉光束信息，分别计算获得基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。本发明还提供了一种基板异物和光学浓度的检测方法。实施本发明提供的技术方案，可实现对涂覆有黑色矩阵的基板异物与光学浓度的同时、快速、准确测量，简化设备结构，提高基板的生产质量和效率。

主权项

一种基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，包括：设置在基板上方的光发射单元，用于向所述基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；设置在所述基板上方的反射光接收单元，用于接收所述基板表面的反射光；设置在所述基板下方的透射光接收单元，与所述光发射单元相对设置，用于接收透过所述基板的透射光；与所述反射光接收单元和所述透射光接收单元分别连接的处理单元，用于捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。