[发明专利]用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统及方法有效
| 申请号： | 201710060085.6 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN106840225B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈新度;邓宏光;陈新;王晗;张莉 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡辉;郑泽萍<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统及方法，该系统包括补偿式安装机构和振动补偿控制子系统，所述光栅尺读数头通过补偿式安装机构安装在载体平台上，所述振动补偿控制子系统用于读取载体平台的振动反馈信号以及载体平台所处数控机床的运动学参数后，计算获得相应的振动补偿指令，进而对补偿式安装机构实现振动补偿。本发明可在绝对式光栅尺的测量过程中实现对光栅尺读数头的振动补偿，提高绝对式光栅尺的测量精度，可应用在精密光学测量系统的控制领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 绝对 光栅尺 一体化 振动 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1.用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统，所述绝对式光栅尺的光栅尺读数头安装在载体平台上，其特征在于，包括补偿式安装机构和振动补偿控制子系统，所述光栅尺读数头通过补偿式安装机构安装在载体平台上，所述振动补偿控制子系统用于读取载体平台的振动反馈信号以及载体平台所处数控机床的运动学参数后，计算获得相应的振动补偿指令，进而对补偿式安装机构实现振动补偿；/n所述补偿式安装机构包括多个减震组件，各所述减震组件包括凸耳式安装座、可调刚度气囊、压电致动模块和用于对可调刚度气囊进行刚度调整的气囊刚度预调器，所述振动补偿控制子系统与压电致动模块连接，所述凸耳式安装座悬挂安装于载体平台上；所述可调刚度气囊和压电致动模块依次叠加后安装在凸耳式安装座上，实现对光栅尺读数头的支撑。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710060085.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
