[发明专利]固支梁间接加热在线式未知频率微波相位检测器

摘要

本发明的固支梁间接加热在线式未知频率微波相位检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；共面波导在SiO₂层上，固支梁的下方为介质层，两个固支梁之间的共面波导长度为λ/4；第一端口到第三端口、第四端口及到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经第一端口输入，由第二端口输出到下级处理电路，由第四端口和第六输出到微波相位检测器，由第三端口和第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八接间接加热式微波功率传感器，第九端口和第十接微波频率检测器；实现了对未知频率信号的0‑360°相位在线检测。

主权项

1.一种固支梁间接加热在线式未知频率微波相位检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器（1），通道选择开关（2），微波频率检测器（3），微波相位检测模块（4），第一间接加热式微波功率传感器（5‑1）和第二间接加热式微波功率传感器（5‑2）级联构成；其中，六端口固支梁耦合器（1）的第一端口（1‑1）到第三端口（1‑3）、第四端口（1‑4）以及第一端口（1‑1）到第五端口（1‑5）、第六端口（1‑6）的功率耦合度分别相同，待测信号经第一端口（1‑1）输入，由第二端口（1‑2）输出到下级处理电路，由第四端口（1‑4）和第六端口（1‑6）输出到微波相位检测模块（4）的第一Wilkinson功率合成器（6‑1）和第二Wilkinson功率合成器（6‑2），并由第一Wilkinson功率合成器（6‑1）和第二Wilkinson功率合成器（6‑2）输出到第三间接加热式微波功率传感器（5‑3）和第四间接加热式微波功率传感器（5‑4），参考信号经Wilkinson功率分配器（7）分成两路功率和相位相同的信号，与第四端口（1‑4）和第六端口（1‑6）的两路待测信号经第一Wilkinson功率合成器（6‑1）和第二Wilkinson功率合成器（6‑2）进行功率合成；由第三端口（1‑3）和第五端口（1‑5）输出到通道选择开关（2）；通道选择开关（2）的第七端口（2‑1）和第八端口（2‑2）分别接第一间接加热式微波功率传感器（5‑1）和第二间接加热式微波功率传感器（5‑2），通道选择开关（2）的第九端口（2‑3）和第十端口（2‑4）接微波频率检测器（3）的第三Wilkinson功率合成器（6‑3），并由第三Wilkinson功率合成器（6‑3）输出到第五间接加热式微波功率传感器（5‑5）实现了对未知频率信号的频率在线检测；其中六端口固支梁耦合器（1）的结构以其中心线左右对称设置，由共面波导（10），介质层（12），空气层（15）和横跨在其上方固支梁（13）构成；共面波导（10）制作在SiO2层（9）上，锚区（11）制作在共面波导（10）上，固支梁（13）的下方沉积介质层（12），并与空气层（15）、固支梁（13）共同构成耦合电容结构，两个固支梁（13）之间的共面波导（10）长度为λ/4。