[发明专利]一种射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法在审
| 申请号： | 201710037995.2 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106868461A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 唐霞辉;张青之;杨卫红;彭浩;秦应雄;胡千;李思索 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 赵伟 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，采用磁控溅射的方法对铜电极镀膜以实现对铜电极的保护，采用耐高温、耐腐蚀、抗电子溅射、以及波导损耗小的镀膜材料；在镀膜过程将对氧气浓度的控制与过渡层的设置相结合来提高膜层性能；本发明还对镀膜后的成品进行检测，包括表面光滑检测，能谱分析，反射率以及反射功率测试；通过本发明对射频板条CO2激光器的电极表面镀镀上理想的波导介质膜、使射频板条CO2激光器的平板电极形成全反射波导、降低光波导传输损耗，对高功率射频板条CO2激光器长时间的高功率稳定输出具有重要的现实意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 板条 co2 激光器 电极 表面 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)依次采用溶剂清洗和电化学清洗的方法对射频板条CO2激光器电极进行清洗；(2)将清洗后的射频板条CO2激光器电极置于预热的真空环境下加热烘干、并进行离子轰击清洗；(3)在负偏压、真空条件下，在Ar气氛下给射频板条CO2激光器电极镀Al膜，形成铝靶；(4)提高溅射温度，在O2和Ar气氛下通过溅射镀膜在铝靶表面氧化生成Al2O3薄膜。
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