[发明专利]一种投影物镜像差校正机构及方法有效
| 申请号： | 201710035870.6 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108333879B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 韩建;郭银章 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种投影物镜像差校正机构及方法，包括投影物镜、设于所述投影物镜光路中且由若干相互独立的分立式变形镜组成的阵列式反射镜、测试机构、控制器和调整机构，所述测试机构检测特定波长下投影物镜的像质数据，所述控制器根据测量得到的像质数据获得阵列式反射镜上每个分立式变形镜的调整量，所述调整机构根据所述调整量对每个分立式变形镜进行垂向调整。根据投影物镜的像质数据获得反射镜阵列中每个分立式变形镜的调整量，通过调整机构根据每个分立式变形镜的调整量对其进行垂向调整，以得到所需的面型，本发明能够生成任何反射面型且不存在串扰，不需要加工复杂的面型，降低了加工成本，补偿范围大，控制精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 校正 机构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种投影物镜像差校正机构，其特征在于，包括投影物镜、由若干相互独立的分立式变形镜组成的阵列式反射镜、测试机构、控制器和调整机构，所述测试机构检测特定波长下投影物镜的像质数据，所述控制器根据测量得到的像质数据获得阵列式反射镜上每个分立式变形镜的调整量，所述调整机构根据所述调整量对每个分立式变形镜进行垂向调整。
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