[发明专利]一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法

摘要

本发明提供了一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法，包括如下步骤：（a）对SrTiO₃基板进行表面台阶处理，获得具有TiO₂表面台阶的基板；（b）采用脉冲激光法在步骤（a）所得的基板上沉积LaAlO₃薄膜，使得在LaAlO₃/SrTiO₃界面出现二维电子气；（c）采用脉冲激光法在步骤（b）所得的LaAlO₃/SrTiO₃上沉积超薄LaNiO₃薄膜。本发明首先采用酸性溶液将SrTiO₃基板处理为具有特定宽度的台阶状态，然后在其上沉积LaAlO₃薄膜，界面处形成一层二维电子气，最后再沉积LaNiO₃薄膜，所制得的薄膜具有较低的电阻率，同时，电输运性能可以通过控制LaAlO₃的厚度进行调控，实现超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化。本发明制备工艺简单，适用范围广，利于实用化，具有广阔应用前景。

主权项

1.一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法，其特征在于，包括如下步骤：（a）对SrTiO₃基板进行表面台阶处理，获得具有TiO₂表面台阶的基板；对SrTiO₃基板进行表面台阶处理的过程包括：首先将SrTiO₃基板分别在无水乙醇、去离子水中超声清洗；然后将清洗后的基板在酸性溶液中浸泡，再放入去离子水中超声清洗，经退火处理后得到具有TiO₂表面台阶的基板；（b）采用脉冲激光法，在沉积温度为750 ℃、氧压为10^‑4 Pa的条件下，在步骤（a）所得的基板上沉积厚度为1~40 个单胞的LaAlO₃薄膜，使得在LaAlO₃/SrTiO₃界面出现二维电子气；（c）采用脉冲激光法，在沉积温度为750 ℃、氧压为30 Pa的条件下，在步骤（b）所得的LaAlO₃/SrTiO₃上沉积厚度为6个单胞的超薄LaNiO₃薄膜。