[发明专利]一种低温制造具纳米碳管之电子装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201710010617.5 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106517149A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 邱立凡;邱启东 | 申请（专利权）人： | 上海增华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/162 | 分类号： | C01B32/162;C03C17/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了种低温制造具纳米碳管之电子装置，具有基材，所述基材的表面具有催化合金层，提供一基材；在所述基材上涂布一光阻；对该光阻进行曝光及显影，以露出部分该基材，于该光阻表面及露出之该基材表面沉积一催化合金层；去除该光阻和其表面之该催化合金层，并且保留该基材和其表面之该催化合金层；在温度450℃下催化合金层表面合成数纳米碳管，本发明的纳米碳管的制备方法其结构优良，降低了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 制造 纳米 电子 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低温制造具纳米碳管之电子装置，其特征在于：具有基材(1)，所述基材(1)的表面具有催化合金层(2)。
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