[发明专利]基于受限液滴谐振的集成光学生化传感芯片及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201710005394.3 申请日: 2017-01-04
公开(公告)号: CN106908397B 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 喻平;王卓远;吴飞青;吴成玉;吴双卿;孙炯 申请(专利权)人: 浙江大学宁波理工学院
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31;B01L3/00
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林超
地址: 315100 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于受限液滴谐振的集成光学生化传感芯片及其制作方法。掩埋光波导、光输入接口和光输出接口均埋设在衬底中,微流通道水平置于位于掩埋光波导正上方的衬底上,连续相充满在微流通道内腔,液滴发生器设置在微流通道的一端,液滴发生器用于输送连续相并将分散相加入生成受限液滴,使得受限液滴在微流通道中的连续相包覆下流动;信号光经光输入接口输入掩埋光波导,在掩埋光波导中形成传输导模,导模与受限液滴的回音壁谐振模式相耦合,在光输出接口检测输出光谱谐振波长的改变获得受限液滴特性变化。本发明集成光学生化传感芯片具有易于制作、液滴稳定、传感灵敏度高、对待测物耗费极少和成本低廉等优点。
搜索关键词: 基于 受限 谐振 集成 光学 生化 传感 芯片 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种基于受限液滴谐振的集成光学生化传感芯片,其特征是:包括液滴发生器(1)、受限液滴(2)、微流通道(3)、衬底(4)、掩埋光波导(5)、光输入接口(6)和光输出接口(7),掩埋光波导(5)、光输入接口(6)和光输出接口(7)均埋设在衬底(4)中,微流通道(3)水平置于位于掩埋光波导(5)正上方的衬底(4)上,连续相(9)充满在微流通道(3)内腔,液滴发生器(1)设置在微流通道(3)的一端,液滴发生器(1)用于输送作为连续相(9)的气/液体并将作为分散相的液体水加入生成受限液滴(2),使得受限液滴(2)在微流通道(3)中的连续相(9)包覆下流动;所述的微流通道(3)内腔的上壁(8)和衬底(4)表面均具有超疏水性,受限液滴(2)分别与微流通道(3)的上壁(8)和衬底(4)表面之间的接触角为90度到180度之间。
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