[发明专利]用于制造偏振器设备的方法、偏振器设备和具有偏振器设备的显示系统在审
| 申请号： | 201680090021.4 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109804279A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 凯文·卡宁厄姆;克里斯多弗·本彻 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02F1/1333;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用于制造偏振器设备的方法。所述方法包括：形成图案化抗蚀剂结构，所述图案化抗蚀剂结构具有线，所述线带有一个顶表面和两个或更多个侧表面；在所述图案化抗蚀剂结构上沉积导电材料，其中所述导电材料提供在所述顶表面和所述两个或更多个侧表面上，并且其中形成层结构；以及蚀刻所述层结构以从所述线的所述顶表面移除所述导电材料，以在所述两个或更多个侧表面处形成所述导电材料的导电线。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振器 图案化抗蚀剂 导电材料 侧表面 顶表面 蚀刻 沉积导电材料 显示系统 层结构 导电线 移除 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造偏振器设备的方法，所述方法包括：形成图案化抗蚀剂结构，所述图案化抗蚀剂结构具有线，所述线带有一个顶表面和两个或更多个侧表面；在所述图案化抗蚀剂结构上沉积导电材料，其中所述导电材料提供在所述顶表面和所述两个或更多个侧表面上，并且其中形成层结构；和蚀刻所述层结构，以从所述线的所述顶表面移除所述导电材料，以在所述两个或更多个侧表面处形成所述导电材料的导电线。
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