[发明专利]自由电子激光器

摘要

一种自由电子激光器FEL包括波荡器24，产生相干EUV辐射，接收上游电子束EB2并发射下游电子束EB4，和至少电子源21a、21b，能够操作以产生上游电子束EB1、EB2，上游电子束EB1、EB2包括电子聚束。束路径配置为：引导上游电子束通过包括至少第一和第二线性加速器22a、22b的直线加速器系统(LINAC)、聚束压缩器28b和波荡器24。离开所述波荡器24的下游束以一相位与上游电子束平行地再循环通过第二直线加速器22b，使得下游束被所述直线加速器22b减速，随后以一相位与上游电子束平行地再循环通过第一直线加速器22a，使得下游束被第一线性加速器22a减速；以及，引导下游束至束收集器100。至少第一能量散布装置50a、50b、50c对电子聚束的能量分布赋予可逆变化，并且在束路径中位于聚束压缩器28之前的位置，使得它仅通过上游电子束EB1。第二能量散布装置50d反转由至少一个第一能量散布装置50a、50b、50c施加的电子聚束的能量分布的变化，第二散布装置50d在束路径中位于波荡器24之前的位置，使得它仅通过上游电子束EB2。

主权项

1.一种自由电子激光器，包括：电子源，所述电子源能够操作以产生包括电子聚束的上游电子束；束路径，所述束路径被配置为：引导所述上游电子束通过直线加速器系统、聚束压缩器和波荡器，以产生相干辐射；使离开所述波荡器的下游束以一相位与所述上游电子束平行地再循环通过所述直线加速器，使得所述下游束被所述直线加速器减速；并将所述下游束引导到束收集器；第一能量散布装置，所述第一能量散布装置能够操作以对电子聚束的能量分布施加可逆变化，并且在所述束路径中位于所述聚束压缩器之前的位置，使得所述第一能量散布装置中仅通过所述上游电子束；以及第二能量散布装置，所述第二能量散布装置能够操作以反转由所述第一束散布装置施加的电子聚束的能量分布的变化，所述第二束散布装置在所述束路径中位于所述波荡器之前的位置，使得所述第二能量散布装置中仅通过所述上游电子束。