[发明专利]再装填管储料器有效
申请号: | 201680077190.4 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN108431307B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 矢岛涉 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;B65G1/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器,其特征在于,具有:进行再装填管向再装填管储料器内入库及再装填管从再装填管储料器内出库的入出库部;对再装填管进行保管的保管手段;将原料填充于再装填管内的原料填充手段;对已填充于再装填管内的原料的重量进行秤量的秤量手段;可将从入出库部入库的再装填管在入出库部、原料填充手段及保管手段之间搬送的搬送手段;以及,对利用保管手段进行保管的再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。由此,可提供一种再装填管储料器,其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理,能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。 | ||
搜索关键词: | 装填 料器 | ||
【主权项】:
1.一种再装填管储料器,其是用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器,其特征在于,具有:进行再装填管向再装填管储料器内入库及所述再装填管从所述再装填管储料器内出库的入出库部;对所述再装填管进行保管的保管手段;将原料填充于所述再装填管内的原料填充手段;对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量的秤量手段;可将从所述入出库部入库的所述再装填管在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送的搬送手段;以及,对利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。
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