[发明专利]共焦位移计

摘要

[问题]提供一种能够容易且正确地测量测量对象的位移的共焦位移计。[解决方案]利用透镜单元(220)使具有色像差的光会聚，并且从测量头(200)利用该光照射测量对象(S)。在聚焦的同时被测量对象(S)的表面反射的波长的光穿过测量头(200)内的光纤(314)。穿过了光纤(314)的光被引导至处理装置(100)内的分光部(130)，并且发生分光。在处理装置(100)中，由分光部(130)进行分光后的光被受光部(140)接收到，并且利用控制部(152)获取从受光部(140)输出的受光信号。控制部(152)基于所获取到的受光信号来测量位移，并且将该受光信号提供至外部PC(600)。PC(600)的CPU(601)将从在当前时间点之前的时间点获取到的受光信号向着在当前时间点获取到的受光信号的变化作为变化信息显示在显示部(700)上。

主权项

1.一种共焦位移计，包括：光投射部，其被配置为发射具有多个波长的光；光学构件，其被配置为使所述光投射部发射的光产生沿着光轴方向的色像差，使具有该色像差的光会聚，并且使该光照射在测量对象上；针孔构件，其包括针孔，所述针孔使得所述光学构件照射在所述测量对象上的光中的、具有在聚焦于所述测量对象的表面的同时被反射的波长的光能够穿过；获取部，其被配置为获取表示与在所述测量对象的表面上反射的并且穿过所述针孔的光有关的各波长的强度的受光信号；位移测量部，其被配置为基于穿过所述针孔的光的各波长的信号强度来计算所述测量对象的位移；以及显示部，其被配置为显示从所述获取部在当前时间点之前的时间点获取到的受光信号向着所述获取部在当前时间点获取到的受光信号的变化，作为变化信息。