[发明专利]图案描绘装置

摘要

曝光装置EX，其具有将根据描绘资料调变的光束(LB)投射至基板(P)上的曝光头部(14)，藉由使基板(P)移动于副扫描方向，于基板(P)上描绘对应描绘资料的图案。曝光装置(EX)具备描绘控制部(100)，其将待描绘于基板(P)的图案在副扫描方向的描绘倍率的变更位置，与以测量机构测量基板(P)的移动量变化的测量机构所测量的移动量对应地设定，在描绘倍率的变更位置设定在排列于副扫描方向的复数个像素中的特定像素的副扫描方向途中的情形，将在副扫描方向中特定像素的一个前的像素的描绘完毕的位置作为新变更位置，修正以测量机构测量的移动量与像素的尺寸的对应关系，而设定至描绘倍率的次一变更位置为止从描绘资料储存部(108)读出的像素资料的位址。

主权项

1.一种图案描绘装置，其具有将根据描绘资料调变的光束投射至基板上的曝光头部，藉由使所述基板移动于副扫描方向，于所述基板上描绘对应所述描绘资料的图案，其具备：移动机构，支承所述基板并使之移动于所述副扫描方向；测量机构，藉由较以所述描绘资料规定的像素在所述基板上的尺寸小的解析能力，测量所述基板的移动量变化；资料储存部，将排列于所述副扫描方向的复数个所述像素的各个像素的像素资料储存为所述描绘资料，且与以所述测量机构测量的所述基板的移动量相应地更新像素资料的读出位址；倍率设定部，将待描绘于所述基板的所述图案在所述副扫描方向的描绘倍率的变更位置，与以所述测量机构测量的所述移动量对应地设定；以及控制部，在所述描绘倍率的变更位置设定在排列于所述副扫描方向的复数个所述像素中的特定像素的所述副扫描方向途中的情形，将在所述副扫描方向中所述特定像素的一个前的像素的描绘完毕的位置作为新变更位置，修正以所述测量机构测量的所述移动量与所述像素的尺寸的对应关系，而设定至所述描绘倍率的次一变更位置为止从所述资料储存部读出的所述像素资料的位址。