[发明专利]光束照射装置有效
| 申请号： | 201680073037.4 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108369335B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 松井克宜;丰田晴义;宅见宗则;铃木一隆;中村和浩 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光束照射装置(10)具备：光源部(1)，输出光束(L)；光偏向部(2)，具有反射镜(21)和接受驱动信号的供给而使反射镜(21)摇动的驱动部(24)且以反射镜(21)接受从光源部(1)输出的光束(L)并进行反射；光偏向角度检测部(3)，具有接受由反射镜(21)反射的光束(L)的受光面(33a)并以光偏向部(2)的谐振频率的4倍以上的频率检测受光面(33a)上的光束(L)的位置并且输出表示该位置的检测信号；及动作控制部(4)，以该检测信号为基础来修正驱动信号并且将该修正了的驱动信号输出到光偏向部(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光束照射装置，其特征在于：具备：光源，输出光；光反射部，具有反射镜和接受驱动信号的供给而使所述反射镜摇动的驱动部，由所述反射镜接受从所述光源输出的所述光并进行反射；位置检测部，具有接受由所述反射镜反射的光的受光面并以所述光反射部的谐振频率的4倍以上的频率检测所述受光面上的所述光的位置并且输出表示所述位置的检测信号；及修正部，基于所述检测信号修正所述驱动信号，并将该修正了的驱动信号输出到所述光反射部。
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