[发明专利]微小物检测装置有效
| 申请号： | 201680071190.3 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108369171B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 中井贤也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;G01N21/49 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微小物检测装置(11)具有光学系统(50)。第1光学系统(50)包含第1反射区域(101)、第2反射区域(102)和受光元件(6)。第1反射区域(101)为椭圆面形状，利用椭圆面形状的2个焦点的位置来反射照射光照到粒子(R)而散射的散射光并将该散射光引导至受光元件(6)。第2反射区域(102)反射从粒子(R)到达的散射光并将该散射光引导至第1反射区域(101)，利用第1反射区域(101)的椭圆面形状将该散射光引导至受光元件(6)。由第2反射区域(102)反射后的散射光的光束直径在发出散射光的粒子(R)的位置处大于粒子(R)。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微小物检测装置，其中，所述微小物检测装置具有包含第1反射区域、第2反射区域和受光元件的第1光学系统，所述第1反射区域为椭圆面形状，利用椭圆面形状的2个焦点的位置来反射照射光照到粒子而散射的散射光并将该散射光引导至所述受光元件，所述第2反射区域反射从所述粒子到达的散射光并将该散射光引导至所述第1反射区域，利用该第1反射区域的椭圆面形状将该散射光引导至所述受光元件，由所述第2反射区域反射后的散射光的光束直径在发出该散射光的粒子的位置处大于该粒子。
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