[发明专利]具有BAW谐振器和通过衬底的流体通孔的传感器设备在审
| 申请号： | 201680063164.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN108139364A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | R.里瓦斯 | 申请（专利权）人： | QORVO美国公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N29/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;周李军 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种流体设备，包括衬底、至少一个体声波(BAW)谐振器结构和至少部分地由所述至少一个BAW谐振器结构界定的流体通道。该流体设备还包括至少一个流体通孔，该流体通孔通过衬底的至少一部分限定，由此允许在流体设备的相对的上表面和下表面上提供流体连接和电连接。所述至少一个BAW谐振器结构可以包括压电材料，该压电材料包括具有主要不平行于衬底的面的法线的取向分布的c轴，且可以用官能化材料(例如，覆盖自组装单层的特异性结合材料)覆盖，以能够检测供应到流体设备的样品中的目标物质。 | ||
| 搜索关键词： | 流体设备 衬底 流体通孔 压电材料 法线 传感器设备 官能化材料 特异性结合 谐振器结构 自组装单层 声波 结构界定 流体连接 流体通道 目标物质 不平行 电连接 上表面 下表面 取向 覆盖 检测 | ||
【主权项】：
一种流体设备，包含：基础结构，其包含：(i)衬底；(ii)布置在所述衬底的至少一部分上的至少一个体声波谐振器结构，所述至少一个体声波谐振器结构包括：包含具有主要不平行于所述衬底的面的法线的取向分布的c轴的压电材料、布置在所述压电材料的一部分上的顶侧电极和布置在所述压电材料和所述衬底之间的底侧电极，其中所述压电材料的一部分布置在所述顶侧电极和所述底侧电极之间以形成活动区域；和(iii)布置在所述活动区域的至少一部分上的官能化材料；至少部分通过所述基础结构界定的流体通道；和通过包括衬底的所述基础结构的至少一部分限定的至少一个流体通孔，且所述流体通孔与所述流体通道流体连通。
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