[发明专利]用于无电极等离子体点燃的照明源及等离子体宽带源有效
申请号: | 201680057767.5 | 申请日: | 2016-09-30 |
公开(公告)号: | CN108140538B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | A·希梅尔吉;R·布隆内;A·谢梅利宁;I·贝泽尔;E·基姆;R·帕蒂尔 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | H01J65/04 | 分类号: | H01J65/04 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种在激光维持等离子体LSP宽带源的等离子体灯中用于点燃并维持等离子体的照明源包含经配置以在容纳于所述等离子体灯内的气体内点燃所述等离子体的一或多个点燃激光器。所述照明源还包含经配置以维持所述等离子体的一或多个维持激光器。所述照明源包含递送光纤、一或多个光学元件,所述一或多个光学元件经配置以选择性地将所述一或多个点燃激光器的输出及所述一或多个维持激光器的输出以光学方式耦合到所述递送光纤。 | ||
搜索关键词: | 用于 电极 等离子体 点燃 照明 宽带 | ||
【主权项】:
一种用于无电极等离子体点燃的照明源,其包括:一或多个点燃激光器,其经配置以在容纳于等离子体灯内的气体内点燃等离子体;一或多个维持激光器,其经配置以维持所述等离子体;递送光纤;及一或多个光学元件,其经配置以选择性地将所述一或多个点燃激光器的输出及所述一或多个维持激光器的输出以光学方式耦合到所述递送光纤。
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