[发明专利]用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源以及操作等离子体源的方法有效
| 申请号： | 201680043155.0 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107852806B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈尔·莫非尔;清水铁司;李阳方 | 申请（专利权）人： | 特拉等离子体有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生非热等离子体的电极装置(5)，具有第一电极(7)和第二电极(9)，它们通过电介质元件(11)彼此电绝缘且彼此间隔开。从电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第一电极(7)的厚度至少为10μm，其中从所述电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第二电极(9)具有至少1μm到至多5μm的厚度，或者至少5μm到至多30μm的厚度。电介质元件(11)具有至少10μm到至多250μm的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 等离子体 电极 装置 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
一种用于产生非热等离子体的电极装置(5)，具有：第一电极(7)和第二电极(9)；所述第一电极(7)和第二电极(9)彼此电绝缘且通过电介质元件(11)彼此间隔开；其特征在于：从电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第一电极(7)的厚度至少为10μm；其中，从电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第二电极(9)的厚度为至少1μm到至多5μm，或者至少5μm到至多30μm；并且其中电介质元件(11)的厚度为至少10μm到至多250μm。
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