[发明专利]用于排空来自处理室的腐蚀性流出气体流的装置有效
| 申请号： | 201680042943.8 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107847858B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | C.M.贝利;C.M.L.滕纳;J.R.塔特索尔;I.S.格雷厄姆;M.R.切尔尼亚克;G.P.奈特;D.门尼;D.M.普赖斯;D.M.巴克;A.J.西利 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/75;C23C16/44;F04C19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;邓雪萌 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用干式泵来泵送来自半导体行业的多种气体混合物。本发明提供一种液环泵，其定位在所述干式泵与减排设备之间以在废气进入所述减排设备之前去除可溶性腐蚀性物质，从所述液环泵排出的工作流体在进入所述减排设备之前与所述气体分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 排空 来自 处理 腐蚀性 流出 气体 装置 | ||
【主权项】：
一种用于排空从处理室排出的包括腐蚀性流体的气体流的装置，其包括：干式泵送结构，其用于排空来自所述处理室的包括腐蚀性流体的所述气体流；液环泵，其被布置成用于排空来自所述干式泵的包括腐蚀性流体的所述气体流并且通过使所述腐蚀性流体溶解到所述液环泵的服务液体中来至少部分减少所述气体流中的腐蚀性流体含量；分离器，其用于从于所述液环泵排出的所述服务液体和剩余气体流混合物分离出所述剩余气体流；以及减排结构，其用于处理从所述分离器排出的所述经分离剩余气体流。
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