[发明专利]电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵有效

专利信息
申请号: 201680036551.0 申请日: 2016-07-01
公开(公告)号: CN107683376B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 川岛敏明 申请(专利权)人: 埃地沃兹日本有限公司
主分类号: F16C32/04 分类号: F16C32/04;F04D19/04
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张泽洲;刘林华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(64a)的磁芯(65)。在磁芯(65)的周向(C)上相邻的两个径向电磁铁(63、63)配置成在两个径向电磁铁(63、63),相邻的磁极(66、66)彼此为同极,在两个径向电磁铁(63、63)间形成低磁通量干涉区域(m)。径向传感器(64)配置于低磁通量干涉区域(m)内。
搜索关键词: 电磁铁 单元 磁轴 装置 真空泵
【主权项】:
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