[发明专利]弹性波滤波器装置

摘要

一种弹性波滤波器装置(11)，层叠有：作为高声速构件的高声速支承基板(2)，所传播的体波的声速与在压电膜(4)中传播的主模的弹性波的声速相比为高速；压电膜(4)，直接或间接地层叠在高声速支承基板(2)上；以及多个IDT电极(5)，设置为与压电膜(4)相接，由多个IDT电极构成了至少一个串联臂谐振器(S11、S12)和至少一个并联臂谐振器(P11)。一种弹性波滤波器装置(11)，其中，在构成了至少一个串联臂谐振器(S11、S12)以及至少一个并联臂谐振器(P11)的IDT电极中，连结了多根第一电极指、第二电极指的前端的方向相对于由IDT电极激振的弹性波的传播方向ψ构成v的倾斜角度，在将至少一个串联臂谐振器(S11、S12)中的倾斜角度设为v1，并将至少一个并联臂谐振器(P11)中的倾斜角度设为v2时，v1与v2不同。

主权项

一种弹性波滤波器装置，具有压电膜，所述弹性波滤波器装置具备：高声速构件，所传播的体波的声速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波的声速相比为高速；所述压电膜，由压电单晶构成，直接或间接地层叠在所述高声速构件上；以及多个IDT电极，设置为与所述压电膜相接，所述弹性波滤波器装置具有：输入端；输出端；串联臂，连结所述输入端与所述输出端；以及并联臂，连结所述串联臂与接地电位，由所述多个IDT电极构成了至少一个串联臂谐振器和至少一个并联臂谐振器，构成了所述至少一个串联臂谐振器以及所述至少一个并联臂谐振器的所述IDT电极具有：多根第一电极指；以及多根第二电极指，与所述第一电极指相互交替插入，连结所述多根第一电极指的前端的方向以及连结所述多根第二电极指的前端的方向相对于由所述压电单晶的欧拉角(θ，ψ)规定的、由所述IDT电极激振的弹性波的传播方向ψ倾斜，使得构成倾斜角度v，在将所述至少一个串联臂谐振器中的所述倾斜角度设为ν1，并将所述至少一个并联臂谐振器中的倾斜角度设为v2时，所述倾斜角度ν1与所述倾斜角度v2不同。