[发明专利]蒸馏装置在审
| 申请号： | 201680020924.5 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN107438470A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 李诗奈;李成圭;李相范;李成镐;金正锡;申俊浩;郑大哲;张龙熙;朴泰文;李炫稷 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | B01D3/02 | 分类号： | B01D3/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 李琳,许向彤 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过使用本申请的蒸馏装置，与使用双蒸馏塔的情况相比，可以使包含在光致抗蚀剂的剥离工序中使用的废物剥离剂和被剥离的光致抗蚀剂树脂的溶液的纯化工序中产生的能量损失最小化，并且可以减小蒸馏装置的安装成本，从而提高了工序的经济可行性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸馏 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸馏装置，包括冷凝器、再沸器以及蒸馏塔，在所述蒸馏塔的内部设置有分隔壁，其中，所述蒸馏塔的内部分成塔顶区、塔底区以及分隔壁区，所述分隔壁区存在于所述塔顶区和所述塔底区之间，并与所述塔顶区和所述塔底区接触，所述分隔壁位于所述分隔壁区中，所述分隔壁区被所述分隔壁分成进料供给区和产物排出区，包含剥离剂和被剥离的光致抗蚀剂树脂的废物剥离剂溶液的原料被引入到所述进料供给区，引入的所述原料分别被分离并排出为产物流、塔底流和塔顶流，所述塔底流从所述塔底区中排出，并且所述塔底流的一部分经由所述再沸器回流到所述塔底区中，所述塔顶流从所述塔顶区中排出，并且所述塔顶流的一部分经由所述冷凝器回流到所述塔顶区中，所述产物流从所述产物排出区排出。
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