[发明专利]凹凸图案形成体的制造方法和压印装置在审
| 申请号： | 201680014423.6 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN107405824A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 水上裕 | 申请（专利权）人： | 综研化学株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 高宏伟,温剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种模具对辊容易装卸、从辊上剥离的模具可再利用、且无需同时进行转印操作和固化操作的凹凸图案形成体的制造方法等。本发明的凹凸图案形成体的制造方法包括工序(1)，将表面具有凹凸图案的膜模具以可装卸的方式卷绕保持于辊上；工序(2)，将包含被转印体树脂层的被转印体载置于基板载置部上；工序(3)，一边使膜模具抵接在被转印体树脂层的表面上，一边使辊转动，使膜模具从辊上剥离而卷出至被转印体树脂层上，并且将膜模具表面的凹凸图案转印至被转印体树脂层上；工序(4)，使被转印体树脂层固化；工序(5)，一边使辊抵接在层叠于固化了的被转印体树脂层上的膜模具上，一边使其转动，使膜模具从固化了的被转印体树脂层上剥离并卷取至辊上。 | ||
| 搜索关键词： | 凹凸 图案 形成 制造 方法 压印 装置 | ||
【主权项】：
一种凹凸图案形成体的制造方法，所述方法包括：工序(1)，将表面具有凹凸图案的膜模具以可装卸的方式卷绕保持于表面具有卡位能力的辊上；工序(2)，将包括基板和形成于基板上的被转印体树脂层的被转印体载置于基板载置部上；工序(3)，一边使所述工序(1)中得到的卷绕保持于辊上的膜模具抵接在所述被转印体树脂层的表面上，一边使辊转动，使膜模具从辊上剥离而卷出至被转印体树脂层上，并且将膜模具表面的凹凸图案转印至被转印体树脂层上；工序(4)，使通过所述工序(3)而处于表面层叠有膜模具的状态下的被转印体树脂层固化；工序(5)，一边使表面具有卡位能力的辊抵接在层叠于所述工序(4)中得到的固化了的被转印体树脂层上的膜模具上，一边使其转动，使膜模具从固化了的被转印体树脂层上剥离并卷取至辊上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于综研化学株式会社，未经综研化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680014423.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
